X-선이 물질의 결정면에서 회절, 산란되는 현상을 이용한 것으로 X-선 회절형을 측정하여 물질의 구조를 분석하는 장치이다.

- Target : Cu 2KW(Max. 60kV 55mA)

- Detector : X'Celarator / Parallel Plat Collimator

- High Temp. Chamber : room temp. ~ 1,200도

- Primary Beam Optics(Line Focus)

  . NRD System/Programmable Divergernce Slits / Hybrid Monochromator(2X CU MPD PFX)

  . Beam Arrenuator/Beam- mask(20mm,10mm,4mm,2mm)/Slit(1/2,1/4,1/8,1/16,1/32), Filter(Nickel)

- Diffracted Beam Optics

  . Bracket/Spinner/Open Eulerian Cradle

- Database : PDF 2

- Program : XRR 분석용(Wingixa, Reflectivity)

- Consist of

  . 2x Monochrometer

  . Stage : Texture Cradle Stage OEC/Sample Spinner

  . Ultra Fast X'Celarator Detector

  . High Temp. system