초고진공 전자빔 증착기(UHV e-beam evaporator)
UHV e-beam evaporator
모델명/제조사 | / |
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위 치 | 이과대학 B244호 |
담당교수 | 김영덕 |
예약문의 | 02-961-0815 |
연구중심 대학
경희대학교 중앙기기센터
초고진공 전자빔 증착기(UHV e-beam evaporator)
UHV e-beam evaporator
모델명/제조사 | / |
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위 치 | 이과대학 B244호 |
담당교수 | 김영덕 |
예약문의 | 02-961-0815 |
장비설명 |
The UHV Preparation Chamber is for preparing samples and characterize them before and/or after the electron spectroscopy with synchrotron light 반사고속전자선회절, 초고진공 챔버, 전자빔 증착장치, 로드락 챔버, 가열장치, 펌핑 스테이션, 터보 펌프 The UHV stations are connected to APE-HE and APE-LE end-stations with UHV transfer systems. |
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용 도 | |
사용료 | 바로가기 |