연구중심 대학

경희대학교 중앙기기센터

자율운영기기

초고진공 전자빔 증착기(UHV e-beam evaporator)

UHV e-beam evaporator

모델명/제조사 /
위 치 이과대학 B244호
담당교수 김영덕
예약문의 02-961-0815
장비설명

The UHV Preparation Chamber is for preparing samples and characterize them before and/or after the electron spectroscopy with synchrotron light


반사고속전자선회절, 초고진공 챔버, 전자빔 증착장치, 로드락 챔버, 가열장치, 펌핑 스테이션, 터보 펌프

 

The UHV stations are connected to APE-HE and APE-LE end-stations with UHV transfer systems.

용 도
사용료