초고진공 스퍼터링 시스템(UHV Sputtering system)
UHV Sputtering system
| 모델명/제조사 | / |
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| 위 치 | 이과대학 B244호 |
| 담당교수 | 김영덕 |
| 예약문의 | 02-961-0815 |
자율운영기기
| 장비설명 |
로터리 펌프와 터보펌프를 이용해 최대 10^-6 Torr 의 진공에서 여러가지 금속을 증착할 수 있다. 구리, 나이오븀, 금 등의 금속을 초고진공에서 아르곤 플라즈마를 이용해 증착 할 수 있다. |
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| 용 도 | |
| 사용료 | 바로가기 |