전계 방출 전자 현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope, e-beam lithography)
Field Emission Scanning Electron Microscope, e-beam lithography
| 모델명/제조사 | / ZEISS |
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| 위 치 | 이과대학 627호 |
| 담당교수 | 김영덕 |
| 예약문의 | 02-961-0815 |
자율운영기기
| 장비설명 |
ZEISS FE-SEM Gemini Sigma 300 for high resolution images and E-beam lithography with nanometer pattern generation system(NPGS) GeminiSEM with In-lens, SE2 Detector, EIZO 4k Monitor |
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| 용 도 |
1nm 이하의 초고분해능의 전자 현미경 이미지 측정
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| 사용료 | 바로가기 |