분광 타원 편광 분석기(M2000 DI)
M2000 DI
| 모델명/제조사 | M-2000 / Woollam |
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| 위 치 | 이과대학 702호 |
| 담당교수 | 김태중 |
| 예약문의 | 02-961-0815 |
자율운영기기
| 장비설명 |
- 본 장비는 미국 Woollam 사에서 제작한 M-2000 In Situ and Manual Angle 실시간 박막 성장 모니터링용 장비입니다. 반도체 박막의 유전율 및 굴절율 함수, 박막 두께 등을 측정 분석 - 실시간 박막 성장 모니터링 시스템, 편광기용 Light source |
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| 용 도 |
- 본 장비는 Xenon lamp, D2 lamp, polarizer, compensator, analyzer, detector 로 구성되어 있음
- 측정 에너지 영역은 074 eV - 6.54 eV, 측정 입사 각도는 90도, 75도 임 |
| 사용료 | 바로가기 |