RC2 광원부 온도변화 분광 타원편광분석기(RC2 ellipsometer, RC2 Light Source)
RC2 ellipsometer, RC2 Light Source
모델명/제조사 | / |
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위 치 | 이과대학 702호 |
담당교수 | 김태중 |
예약문의 | 02-961-0815 |
연구중심 대학
경희대학교 중앙기기센터
RC2 광원부 온도변화 분광 타원편광분석기(RC2 ellipsometer, RC2 Light Source)
RC2 ellipsometer, RC2 Light Source
모델명/제조사 | / |
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위 치 | 이과대학 702호 |
담당교수 | 김태중 |
예약문의 | 02-961-0815 |
장비설명 |
RC2 편광분석기의 광원부로 D2 & QTH Lamp를 사용하여 0.7-6.5 ev의 광역 에너지 영역을 가지며 compensator에 의해 비등방성 Muller 매트릭스를 측정 가능하게 함. 4*4 Muller 매트릭스는 반도체 소자구조 등의 비등방성 물성을 표현하기 때문에 그라핀 투명 PET 박막 등의 물성분석에 필수적인 파라미터이다. 기존의 편광분석기는 한정적인 12성분 밖에 측정이 불가능하여 분석에 비정확성이 높으나 RC2 는 모든 16가지 성분을 측정할 수 있는 장점이 있다. 본 장비는 D2 & QTH Lamp polarizer compensator로 구성되어 있어 광역 에너지 영역인 0.7-6.5ev에서 compensator의 기능으로 인해 16가지 성분을 모두 측정할 수 있도록 하기에 반도체 물성연구에 필수적인 기자재이다. |
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용 도 | |
사용료 | 바로가기 |