본 장비는 고진공 환경에서 기판에 유기물을 증착할 수 있도록

증착셀이 설치되어 있는 고진공 챔버로 분석 챔버와 연결되어

시료를 증착하여 in situ로 분석이 가능합니다.

진공자외선 광원, 분광기, 유무기 복합박막 증착시스템, 분자빔증착장치, 박막 합성 장치, 유기물 증착 시스템, 이온펌프

2.75" CF 규격 증착 셀 포트 7개

QCM(Quartz Crystal Microbalance) sensor

hot cathode ion gauge & pirani gauge

TV 301 navigator turbomolecular pump (56000 rpm)

base pressure 5e-08 torr