- 물질의 전자구조 및 화학적 상태 측정 분석

- 샘플의 화학적 결합상태 측정

- 표면 및 계면의 전자구조 분석

- 물질의 에너지 레벨 측정을 통한 일함수 측정 구성 및 성능

Automatic sample loading system

X-ray source (XPS, XPS imaging)

He discharge lamp (UPS)

Ar ion gun

Neutralizer

터보분자펌프 (SEC)

이온펌프 (SAC)